中芯国际与阿斯麦签订单 是多少纳米光刻机?

由于美国的无理打压,中芯国际在采购光刻机等设备时受阻。为此,中芯国际做了多番努力。3月3日,中芯国际发布公告称,与阿斯麦签约12亿美元订单。不少人好奇,此次签订的订单中涉及多少纳米光刻机?下面,一起来了解一下。

中芯国际与阿斯麦签订单
中芯国际与阿斯麦签订单

中芯国际公告称,2021年2月1日,公司与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议。据此,阿斯麦批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。

公告还称,上述阿斯麦购买单为该期间阿斯麦集团向中芯国际供应用于生产晶圆的机器而作出,阿斯麦购买单的总代价为12.02亿美元。值得一提的是,此前消息显示,美国方面已批准该国设备厂商,对中芯国际供应14纳米及以上(14纳米及28等成熟工艺)设备的供应许可。由此来看,中芯国际上述订单购买的光刻机为14纳米及以上的。