超越摩尔研发构建运营 助力国内传感技术创新研发

9月10日，亚洲最高规格的传感器与物联网行业盛会——2017中国（上海）国际传感器技术与应用展览会（简称“SENSORCHINA”）的开幕式暨2017全球传感器与物联网产业峰会在上海举行。

在本次大会上，中国科协副主席、中国科学院院士王曦，工信部原副部长杨学山，国家集成电路产业投资基金总经理丁文武，工信部电子司副司长吴胜武，上海科学技术委员会主任寿子琪，上海市嘉定区委书记马春雷共同启动上海微技术工业研究院“超越摩尔”研发中试线运营。

据悉，“超越摩尔”研发中试线由上海微技术工业研究院（简称“工研院”）构建，这是国内首条、全球领先、兼容CMOS的8英寸研发中试线，旨在进一步推动中国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展，完善国内超越摩尔产业生态链布局，助力创新研发。资料显示，超越摩尔即新摩尔定律（morethanmoore），是指在半导体技术延续摩尔定律发展的同时，利用成熟制程，结合微机电技术、光电技术等开辟一条新的半导体发展路坚。

在超越摩尔领域，我国长期存在产品实际应用环节与生产平台脱节的情况。在业内人士看来，这主要是因为不同于CMOS的标准工艺，MEMS（微机电系统）产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，对产线“严重依赖”；中试是解决上述问题的有效手段和产品研发的必经阶段，也是目前国内传感器厂家共同面临的挑战。据统计，科技成果经过中试，产业化成功率可达80%，未经中试成功率仅有30%。

基于此背景，工研院实施超越摩尔计划与国际领先的晶圆厂合作，在嘉定构建了8英寸研发中试线。据介绍，8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发，可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。

作为国内第一条先进8英寸研发中试线，SITRI的8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。需要提及的是，以全球领先的“超越摩尔”8英寸研发中试线为支点，工研院试图打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案。

值得关注的是，本次大会上宣布，为加速推动产业发展，由工研院、国家集成电路产业投资基金以及其他战略投资人共同发起成立规模为50亿元的“超越摩尔”产业基金，为创新企业提供关键的早期支持；并配套全球化创新网络提供软硬件结合的孵化服务。